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GaN基HFET中极化诱导二维电子气和电流崩塌效应

作者:张志国; 杨瑞霞; 李丽; 李献杰; 王勇; 杨...氮化镓异质结场效应晶体管极化效应二维电子气电流崩塌效应

摘要:从纤锌矿GaN的晶体结构和微电子学理论出发,介绍了GaN基HFET中两种极化效应的物理机制,分析了二维电子气(2DEG)的形成,极化与2DEG浓度的关系以及提高2DEG浓度的方法.列举了三种典型的电流崩塌效应,分别介绍了其成因和抑制方法,并对各种抑制电流崩塌的方法进行了比较.

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半导体技术

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