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垒层Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响

作者:谭春华; 范广涵; 周天明; 李述体; 黄琨; ...x双晶衍射mocvd量子阱光荧光

摘要:低压MOCVD方法生长了垒层掺Si与不掺Si的AlGaInP/GaInP多量子阱结构,运用X双晶衍射与光荧光技术研究了掺Si对量子阱性能的影响。测试结果表明垒层掺Si使量子阱的生长速度增加,掺Si量子阱的光荧光强度比未掺Si量子阱的光荧光强度增强了13倍。

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半导体技术

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