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自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用

作者:孙捷微电子工艺量子特性自组装半导体量子点纳米电子器件

摘要:随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程.自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中.本文按纵向输运器件、横向输运器件的分类扼要评述了该领域的最新进展,并对待解决的问题和发展前景作了分析.

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半导体技术

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