作者:王晓光; 林殷茵; 汤庭鳌化学溶液淀积blt铁电薄膜先体层状bi结构
摘要:采用新颖的化学溶液淀积方法,配制出可长时间稳定的先体溶液,采用红外分析和热分析等手段,对成膜过程中发生的反应变化进行了分析,结果表明采用新的方法可以增加先体的稳定性,并且确定了薄膜的析晶温度.XRD测试表明薄膜在不到500℃即开始析晶,并且析晶情况与Bi含量有关.对薄膜的电学性能研究表明随着Bi含量的增加,薄膜的漏电性能和抗疲劳特性变差,矫顽场变大,而2Pr在Bi过量10%的情况下达到最大31.6 μ C/cm2.
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