作者:汪朝敏; 郑渝; 董杰; 王小东; 白雪平高帧频ccdmpp蓝光窗口
摘要:为了实现对快速运动目标的跟踪成像或记录其快速变化的过程,研制了一种高帧频64×64元蓝光响应增强CCD。该器件的存储区采用漏斗形结构以提高其工作频率,光敏元采用多蓝光窗口来提高其蓝光响应,衬底采用较高的电阻率50Ω·cm从而提高了其红光响应,采用MPP技术来降低暗电流。器件的帧频为2000f/s,在450~900nm波长范围的平均量子效率为45%,动态范围达到15000∶1,暗电流为30pA/cm^2。
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