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高帧频64×64元蓝光响应增强CCD

作者:汪朝敏; 郑渝; 董杰; 王小东; 白雪平高帧频ccdmpp蓝光窗口

摘要:为了实现对快速运动目标的跟踪成像或记录其快速变化的过程,研制了一种高帧频64×64元蓝光响应增强CCD。该器件的存储区采用漏斗形结构以提高其工作频率,光敏元采用多蓝光窗口来提高其蓝光响应,衬底采用较高的电阻率50Ω·cm从而提高了其红光响应,采用MPP技术来降低暗电流。器件的帧频为2000f/s,在450~900nm波长范围的平均量子效率为45%,动态范围达到15000∶1,暗电流为30pA/cm^2。

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半导体光电

《半导体光电》(CN:50-1092/TN)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《半导体光电》刊载半导体光电器件、光通信系统和光传输、光存贮、光计算、处理技术,以及摄像、传感、遥感等方面的研究成果、学术论文、学位论文和工作报告,介绍光学、光子学、量子电子学、光电子学领域的新材料、新结构、新工艺、新器件,报道国内外该领域的研究和发展方向。

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