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首页 期刊 半导体光电 小转角测量方法的改进【正文】

小转角测量方法的改进

作者:花世群 骆英 阮小霞光学测量转角衍射分离间隙法最小二乘法

摘要:利用单缝夫琅和费衍射装置,通过转动来使组成狭缝的一个棱边与另一固定棱边形成分离间隙,进而使观察屏上的衍射条纹出现不对称分布现象。用最小二乘法对由线阵CCD测量到的衍射图像的光强分布进行二次曲线拟合,并由拟合得到的数学表达式,确定衍射条纹的精确位置。推导出转动棱边在转动平面内两个相互垂直方向上的位移与观察屏上衍射暗纹位置之间的关系式,并利用它对转动棱边的转角进行计算。实验结果表明,新的测量方法可以实现小转角的高精度测量,转角的测量不确定度可达4.2″。

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半导体光电

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