作者:魏榕山; 邓宁; 王民生; 张爽; 陈培毅量子点量子点红外探测器暗电流密度响应度
摘要:采用UHV/CVD方法在Si(100)衬底上生长了多层的自组织Ge量子点,用AFM对量子点的形貌和尺寸分布进行了研究。材料的低温(10K)PL谱测试表明,由于量子点的三维限制作用,跟体材料的Ge相比,Ge量子点的NP峰表现出87meV的蓝移。在此基础上,流水制作了p-i-n结构的量子点红外探测器。室温下,测得其在1.31μm和1.55μm的响应度分别为0.043mA/W和0.0014mA/W,覆盖了体Si探测器所不能达到的响应范围。
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