作者：陈四海; 潘峰; 付小朝; 柯才军; 汪殿民; ...柔性传感器硅岛阵列
摘要：基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列，然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构，在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺，并固化，形成柔性的结构。利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性，又具有一定的强度，而且与传统的硅工艺相兼容。
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《半导体光电》（CN：50-1092/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《半导体光电》刊载半导体光电器件、光通信系统和光传输、光存贮、光计算、处理技术，以及摄像、传感、遥感等方面的研究成果、学术论文、学位论文和工作报告，介绍光学、光子学、量子电子学、光电子学领域的新材料、新结构、新工艺、新器件，报道国内外该领域的研究和发展方向。
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