作者:陈文彬; 刘继琨ptsi肖特基势垒光腔共振吸收
摘要:研究了PtSi—SBD的结构和光产额。由光产额模型可知,采用薄PtSi光腔结构和降低肖特基势垒可提高量子效率。利用光的共振吸收模型,通过计算机模拟计算表明,引入抗反射层,优化光腔结构可以大大提高光的吸收率。同时,PtSi膜厚在1~2nm时,PtSi—SBD的量子效率系数最大。
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