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轴线偏移对微纳力测量结果的影响研究

作者:邹韶明; 刘磊轴线偏移误差微纳力测量结果圆筒状电容

摘要:针对在微纳力测量过程中所广泛采用的圆筒状电容结构,采用有限元方法,研究了不同条件下圆筒状电容装置轴线偏移对输出微纳力测量结果的影响。重点分析了当圆筒状电容内外电极相交长度不同时,内电容轴线偏移,输出微纳力的变化情况,并根据研究结果,得到了在利用圆筒状电容装置测量微纳力时,轴线偏移误差对输出微纳力影响较小区间。

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安徽水利水电职业技术学院学报

《安徽水利水电职业技术学院学报》(CN:34-1240/Z)是一本有较高学术价值的大型季刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《安徽水利水电职业技术学院学报》2004年全国高职高专学报一等奖、2004年安徽省高等学校优秀学报。主要刊登水利工程、电力工程、机电工程、建筑工程、管理工程、计算机科学及基础学科领域内的学术论文、工程实例等,也适当刊登本院具有创见的教育教学论文。

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