作者：岳东宁; 赵军; 马燕云; 徐江; 粟永阳; 汪...电感耦合采样锥气体温度数值模拟
摘要：采用以流场为主耦合电磁场的计算流体力学方法分析ICP离子源的温度特性,并比较加载采样锥前后其温度特性的变化。由于采样锥和炬管构成了相对封闭的空间,加载采样锥后大部分区域温度偏高。在采样锥附近等离子体通道效应明显,中心通道温度从25mm附近开始急剧上升到8 000K左右,在采样锥口前1mm左右急剧下降到6 000K左右。用Discrete Phase Model（DPM）模型分析了不同直径气溶胶颗粒对中心通道气体温度的影响,发现颗粒直径太大会影响中心通道气体温度的稳定性,而直径几微米的气溶胶颗粒电离效率较高。
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