作者：张体强; 胡树国; 吴海; 韩桥电子级氮气纯化超痕量杂质不确定度
摘要：采用大气压电离质谱（APIMS）技术及标准添加法建立了一种电子级氮气中超痕量杂质的分析方法。以高效纯化后氮气中的5种杂质（CO、CH4、H2、O2和CO2）作为检测对象,以动态稀释后的标准气体作为参考进行回归分析,标准气体依据ISO 6142及ISO导则34规定的重量法在实验室制备,同时采用蒙特卡洛（MCM）法及《不确定度表示指南》描述的GUM法对本方法的不确定度进行评定。结果表明：在0~1nmol/mol范围内,5种杂质的校准曲线呈现出良好的线性关系,线性相关系数R~2均大于0.998;方法的灵敏度高,检出限可达几至几十pmol/mol水平,扩展不确定度为37%（k=2）,通过与文献中报道的数据相比,CH4和CO的检出限分别改善了1个和2个数量级,H2、O2、CO2则与文献的报道值基本一致。本方法能够满足对相关电子气体中杂质的分析要求,并可为量值溯源提供参考依据。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
