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磁控溅射法制备柔性纺织面料基纳米薄膜的研究与进展

作者:黄美林; 鲁圣国; 杜文琴; 蔡珍; 任永聪磁控溅射功能纺织品纳米薄膜

摘要:磁控溅射工艺技术是一种重要的镀膜技术,广泛应用于薄膜材料制备和材料的表面处理,应用于柔性纺织材料的表面镀膜也越来越广。本文主要介绍磁控溅射法在柔性纺织面料上制备纳米薄膜的研究和发展情况,包括镀制金属、合金、化合物或陶瓷、高分子材料等单层或多层薄膜,用以开发功能性纺织品的研究情况。介绍的镀膜包括银膜、铜膜、铝膜、钛膜及其金属氧化膜、聚四氟乙烯膜等。

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真空科学与技术学报

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