原子层沉积技术在纳米光子波导中的应用

作者：邵淑英; 易葵; 朱美萍; 范正修; 邵建达原子层沉积纳米光子学槽波导条形波导环形谐振腔

摘要：原子层沉积（ALD）是一种独特的薄膜沉积方法,能够实现完美的台阶复形和大面积均匀沉积,为薄膜成分和厚度提供原子级控制。本文将ALD的优点与纳米光子学联系起来,总结了ALD膜层在几种硅波导新结构中的性能优化作用,综述了近年来利用ALD制备纳米光子波导器件的一些研究成果。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社