作者：石正雨; 张一川; 杨宽; 李唤; 朱晓东氢等离子体离子特征碰撞过程电子回旋共振等离子体
摘要：利用质量能量分析仪研究了微波电子回旋共振（ECR）氢等离子体的离子特征以及氢分子束流引入对离子特征的影响。在工作气压1 Pa的放电条件下,探测到了H＋、H_2~＋和H_3~＋三种氢离子,其中H_2~＋为主要离子;随放电功率的增加,探测到的离子通量增加。维持氢气放电条件不变,在工作区引入微量的氢分子束流。在束流增加的初始阶段,电子-离子的复合反应增强,探测到的三种离子通量都减小;相对于高能离子,低能区的离子数显著减少;三种离子归一化后H_2~＋相对含量增加,H_3~＋相对含量减少,而H~＋的相对含量基本不变;相对含量的变化与不同离子-分子间碰撞的差异有关。随着氢气束流进一步增加,各种离子相对含量趋于稳定。
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