进气口导流叶列对M型分子／增压泵抽速的影响

作者：储继国; 王雅婷; 陈列东; 褚珍珍; 龚建华分子泵抽速导流叶列

摘要：分子/增压泵抽气槽的入口流导是限制抽速的主要原因.抽气槽进气口增设一组百叶窗式导流叶列,可以显著减少入口流导的影响,大幅度提高抽气槽的抽速.本文分析了导流叶列的工作机理,提出了叶列参数优化方法,优化后的抽速可以提高20%.实测结果与理论值符合得很好.

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