用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计

作者：尤大伟; 黄小刚; 任荆学; 李安杰宽束离子源薄膜制备光学薄膜离子束感应线圈匹配射频镀膜高性能

摘要：采用射频宽束离子源进行离子束辅助镀膜可以获得高性能的光学薄膜,已越来越得到人们的共识.本文对射频感应线圈的匹配、起弧及三栅离子光学的关键技术进行了重点考虑，并获得了稳定运行的高性能离子源.

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