蓝宝石输出窗的成功封接

作者：袁广江; 卢玉华; 罗积润; 阎旭; 吴尔生; ...蓝宝石封接高功率毫米波输出器件高频率多弧离子镀抗拉强度冲击能

摘要：基于多弧离子镀技术,结合特殊的封接结构和工艺技术,成功地实现了蓝宝石输出窗的真空气密封接.通过试验,证明封接的蓝宝石输出窗具有良好的真空气密性能、抗热烘烤冲击能力、较好的抗拉强度.这一成功为我国发展高功率和高频率真空微波、毫米波器件奠定了基础.

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