作者：叶甜春; 徐秋霞; 朱慧珑; 陈大鹏; 赵超; ...高新技术发展纳米集成电路短沟道效应应用工艺国家信息安全信息社会特征尺寸
摘要：集成电路（IC）技术是现代信息社会的基石，也是高新技术发展的集中体现，在国家信息安全中发挥着重要的战略性作用。当前，器件特征尺寸已微缩到22纳米及以下，由于短沟道效应和沟道散射效应，在关键技术上面临严重挑战。
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《中国科技成果》（CN：11-4484/N）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国科技成果》数据库是国家科技部指定的新技术、新成果查新数据库。数据的准确性、详实性已使其成为国内最具权威性的技术成果数据库，不仅可以用于成果查新和技术转让，还可以为技术咨询、服务提供信息源，为技术改造、新产品开发以及革新工艺提供重要依据。
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