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基于UVLED光源的平行光曝光设备开发及应用

平行光曝光机led光源应用设备开发uv半导体器件印刷电路板

摘要:平行光曝光机是应用于半导体器件、印刷电路板、触摸屏、液晶面板等产品制造的一种光刻设备,可以方便高效地制作出微米量级的线路图形,应用非常广泛。

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中国科技成果

《中国科技成果》(CN:11-4484/N)是一本有较高学术价值的大型半月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国科技成果》数据库是国家科技部指定的新技术、新成果查新数据库。数据的准确性、详实性已使其成为国内最具权威性的技术成果数据库,不仅可以用于成果查新和技术转让,还可以为技术咨询、服务提供信息源,为技术改造、新产品开发以及革新工艺提供重要依据。

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