作者:王绍勇; 尹宁高效空气过滤器气流分布一致性多孔介质数值模拟供风结构
摘要:文章对半导体设备中腔室内的供风结构进行研究,采用数值分析的方法,对供风结构进行流场分析,根据分析的结果对结构进行优化,以达到理想的出风一致性效果。对测试和验证给予定性分析和指导,节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期。
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《中国高新技术企业》是一本有较高学术价值的旬刊,自创刊以来,读者遍布全国主要科研机构、政府、高等院校、高新园区、高新企业、公共场所及其他企事业单位。选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国高新技术企业》现已更名为《中国高新科技》。
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