作者：彭更; 陈永军磁控溅射溅射电源人机界面
摘要：在生产过程中，大型真空溅射设备的靶材数量多，电源数量多，溅射电源和靶材之间的电缆多，并且电缆处于线盒中。然而更换靶材的周期短时间紧，工作人员难免会将溅射电源和阴极之间张冠李戴。一旦溅射电源和阴极张冠李戴就会存在一定的安全隐患，为了能提前发现此类错误而避免隐患就需要一种带自动检测功能的溅射电缆线。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《中国高新技术企业》是一本有较高学术价值的旬刊，自创刊以来，读者遍布全国主要科研机构、政府、高等院校、高新园区、高新企业、公共场所及其他企事业单位。选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国高新技术企业》现已更名为《中国高新科技》。
省级期刊
人气 804575 评论 68
北大期刊、统计源期刊
人气 540742 评论 58
人气 499791 评论 74
部级期刊
人气 495229 评论 71
