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位置随动系统在ITO薄膜激光刻蚀设备中的运用

作者:刘思远; 刘文杰ito薄膜激光刻蚀位置随动系统半导体激光器

摘要:ITO薄膜激光刻蚀设备是由激光对附着在玻璃及PET Film上的ITO薄膜实施剥离加工的精密尖端设备,与其他激光设备一样,在其工作过程中对激光的开关控制是很重要的一环。本文重点介绍了位置随动系统在控制激光器中的应用,以及此系统的优势所在。

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中国高新技术企业

《中国高新技术企业》是一本有较高学术价值的旬刊,自创刊以来,读者遍布全国主要科研机构、政府、高等院校、高新园区、高新企业、公共场所及其他企事业单位。选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《中国高新技术企业》现已更名为《中国高新科技》。

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