作者：姜宇; 徐送宁扫描隧道显微镜针尖电化学腐蚀法机诫成形法粒子束刻蚀法
摘要：扫描隧道显微镜探针针尖的加工方法有好多，最主要的是电化学腐蚀法、机诫成形法和粒子束刻蚀法等。本文利用不同方法制作出针尖，并探讨了针尖的制作技巧。
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