氦质谱细检漏的基本判据和最长候检时间

作者：王庚林 李飞 王彩义 李宁博 王莉研 董立...内部水汽氦质谱细检漏最长候检时间

摘要：国内外普遍认为，现行军用标准有关氦质谱细检漏的测量漏率判据，对于筛选后内部水汽含量小于5000ppm的要求过于宽松。但标准改进中，加严判据与检测条件之间的矛盾，使人们处于困窘的局面。作者主张以氦气交换的时间常数THe为主要变量，以严密等级下THemin为基本判据，简化了氦质谱细检漏测量漏率公式，选择了一条可更为简捷分析和处理问题的技术途径。进而推演提出了压氦法和预充氦法的最长候检时间公式，小内腔容积时再辅以二步检测法和贮存法，可从几倍到几个数量级地拓展最长候检时间，从而破解了候检时间过短这一技术瓶颈，为降低吸附漏率创造了条件，为设计加严判据要求的压氦法和预充氦法的固定方案和灵活方案，为全面改进密封性氦质谱检测方法标准提供了理论依据，对控制密封元器件长期贮存后的内部水汽、提高其可靠性有重要意义。

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