作者：李晨 张鹏 李松法微电子器件异构集成三维集成芯片级集成微系统
摘要：概要介绍了芯片级集成微系统的内涵和近期发展态势，分析了它的技术特点，对相关的新技术、新结构和新器件的技术问题作了初步的分析与探讨，为发展新一代微小型电子武器系统提供一部分技术信息。
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