作者：黄正mems继电器开关悬臂梁射频
摘要：介绍了国外MEMS继电器的最新发展情况。以静电MEMS开关、电磁MEMS开关、磁保持MEMS开关和热MEMS开关为例，描述了MEMS开关的结构和工作原理。特别对静电MEMS开关和磁保持MEMS开关，给出了有关的理论计算。给出了各种类型MEMS开关的比较。介绍了MEMS开关制造方法和射频性能，最后介绍了MEMS开关的应用前詈。
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