作者:高彬娜运动控制系统数字pidpid控制参数设置
摘要:在半导体设备运动过程中,有效的调节数字PID控制参数可以提高设备运动的稳定性和可靠性,利用积分分离的算法来实现具有最佳组合的PID控制。
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