作者：杜海文半导体设备数字化制造技术规划
摘要：通过介绍目前半导体与集成电路生产设备的技术情况，分析了该行业的特点和面临的国外封锁和压力，并且从设备数字制造技术的应用背景以及目前起到的巨大作用，对我国该行业的数字技术应用提出了看法。
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