作者：何泳仪; 李娟; 李艳国任意层高密度互联对位精度对位系统
摘要：为了提高任意层HDI板的对位精度，激光钻孔常用X-Ray通孔或内层靶标为对位靶标，图形转移则采用X-Ray通孔或激光盲孔。理论上激光钻孔使用内层靶标，图形转移使用激光盲孔对位，对位精度更高，但实际结果却反之。文章深入分析了理论计算与实际结果存在偏差的原因，优化了理论计算公式，确定最佳对位靶标，并研究不同对位方式对层间对准度的影响。
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