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高厚径比通孔电镀铜均匀性研究

作者:冀林仙; 苏世栋; 聂合贤; 陈苑明; 何为; ...印制电路板电镀铜高厚径比通孔

摘要:采用恒电流(GM)电化学方法研究了电镀铜添加剂的相互作用及其对铜沉积的影响,讨论了添加剂在电极表面吸附的时间与速度依赖效应。借助多物理场耦合平台,建立了高厚径比通孔电镀铜模型,探讨了不同镀液流动方式下高厚径比通孔铜电沉积特征,获得了与实验一致的结论。

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印制电路信息

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