HI,欢迎来到学术之家,发表咨询:400-888-7501  订阅咨询:400-888-7502  股权代码  102064
0

一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法

制备方法氧化锌基单晶薄膜蓝宝石氮化处理zno

摘要:本发明公开了一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法,其步骤为:对蓝宝石(0001)衬底表面进行预处理和氮化处理,修正和控制蓝宝石(0001)衬底的原子结构,以实现ZnO基薄膜的极性控制生长和消除旋转畴;采用在低、中、高3个温度分别生长ZnO基薄膜的缓冲层、三维岛状层和外延层,从而实现失配应变的充分释放,得到单一Zn极性和O极性的原子级光滑的高质量ZnO基薄膜。

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

无机盐工业

《无机盐工业》(CN:12-1069/TQ)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《无机盐工业》致力于宣传、报道本行业取得的最新技术成就,大力推广新技术、新设备、新工艺、新产品、新用途等方面的科研成果;交流各种科技、生产、市场信息;介绍世界各国无机盐工业的技术水平和发展动态,忠诚地为修养进我国无机盐工业的技术进步和生产发展服务。

杂志详情