作者：姜源; 徐庶; 汪龙祺反射率真空锁相双光补偿法
摘要：为测试小于280mm口径光学元件在真空中的光谱反射率，构建了反射率测试系统。该系统的反射率由光源、Seya-Namioka真空可见单色仪，样品室为主要结构组成，同时采用双光补偿法消除了时间漂移，提高了相位锁定微弱信号的测量精度。该系统根据调制光信号与参考信号进行相乘的相干检测原理，采用锁相放大器，利用光学积分器，将信号平滑地输入A／D转换器。反射率测试结果表明，波长精度为0．1nm，波长重复性0．035nm，可以实现真空下光学元件的高精度测量。
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