作者：赵升升; 郎文昌硬质涂层力学性能涂层厚度tialn残余应力
摘要：采用电弧离子镀方法制备了不同厚度和不同Al含量的TiAlN涂层,讨论了Al含量及涂层厚度对其硬度、结合力、残余应力等力学性能的影响.结果表明,Al含量增加或涂层厚度增加,将导致涂层中大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,涂层硬度增加,膜基结合力逐渐下降.
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