作者：彭新华; 潘昭海; 江冰松; 尚可氮化硅立式炉颗粒底座lpcvd
摘要：氮化硅工艺的特点以及立式炉各个系统的工作原理。分析氮化硅立式炉颗粒频繁超标的问题,通过设备改造来提升机台颗粒表现,同时总结了近几年的设备使用以及维护经验。
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《设备管理与维修》（CN：11-2503/F）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《设备管理与维修》行业覆盖（读者群）：机械、化工、轻工、建材、冶金、电子、纺织、地矿、电力、煤炭、铁道、交通、石化、航空航天、有色金属、船舶、汽车、军工等领域。
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