作者：邱红松; 游利兵; 王庆胜; 尹广玥; 方晓东激光技术krf准分子激光器气体分压优化气体混合物缓冲气体
摘要：分别研究了Ne、F_2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F_2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系。当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压（F_2：He：Kr：Ne=0.315：5.985：19.5：305 kpa）下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64%.
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