作者：黄德文 游利兵 梁勖 余吟山激光技术脉冲升压式电源拉普拉斯变换高重复率光刻
摘要：针对光刻用准分子激光器的激励技术，利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析，验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用。耦合系数越接近于1，高压充电时间越短。介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程，并提出了一种控制谐振充电的方法。实现了对高压电容50μs内的快充电。
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