作者:董云升 郭强 张少飞 吴边 王首长 胡爱兰激光技术微加工系统紫外激光xy振镜
摘要:自行研制紫外微加工系统,系统有效工作范围120mm×120mm,最小加工线宽80um,系统操作简单、运行稳定高效.实验中完成对Nd:YAG紫外激光器、XY扫描振镜以及F—Theta平场透镜设计.实现波长355nm紫外激光最高平均功率2.13w稳定输出,1h内输出功率波动小于7%;XY振镜最大扫描角度±28°,线性响应速度0.35-0.5ms;F—Theta视场角为±1:25°,有效焦距为250mm.最后对系统存在的问题进行了分析。
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