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锗晶片磨削用砂轮研究第13-15页
关键词: 锗晶片  磨削  砂轮  砂轮自锐  
2019年第06期 《电子工业专用设备》
锗晶片表面清洗研究进展第36-39页
关键词: 锗晶片  表面清洗  表面氧化层  
2018年第02期 《电子工业专用设备》
锗晶片化学机械抛光的条件分析第101-104页
关键词: 抛光  锗晶片  机理分析  
2008年第01期 《中国电子科学研究院学报》
红外光学用Ge双面抛光片抛光工艺条件研究第394-396页
关键词: 双面抛光  锗晶片  红外光学  
2008年第05期 《半导体技术》
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