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全光网的发展趋势及其挑战
第13-16页
关键词: 全光网 可配置光分插复用器 波长阻塞 波长选择性交叉 微电子机械系统
2006年第03期
《信息通信技术与政策》
微电子机械系统
第47-49页
关键词: 微电子机械系统 微系统技术 微传感器
2008年第06期
《科学》
覆盖银纳米线层硅基MEMS过滤芯片
第945-950页
关键词: 二氧化硅 颗粒过滤 银纳米线
2019年第12期
《半导体技术》
基于修正偶应力理论的Timoshenko微梁模型和尺寸效应研究
第1321-1334页
关键词: timoshenko微梁 尺寸效应 位移场控方程 级数法 微电子机械系统
2019年第12期
《应用数学和力学》
高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器
第911-917页
关键词: 纤毛 高分辨率 湍流传感器 压电
2019年第11期
《微纳电子技术》
用于流速测量的微型力传感器的研制
第992-998页
关键词: 力传感器 封装 流速传感器
2019年第12期
《微纳电子技术》
第一项由我国主导制定的微机电系统(MEMS)国际标准IEC 62047-25:2016正式
第23-23页
关键词: 微机电系统 mems 微电子机械系统 标准化工作 微机械 微系统 批量生产 加工技术 亚毫米 行业标准制定
2016年第11期
《中国质量与标准导报》
浅析车用传感器技术
第284-284页
关键词: 传感器 汽车工业 电子技术 微电子机械系统 信息
2013年第01期
《社会科学动态》
睡眠状况智能纽扣
第54-54页
关键词: 智能设备 睡眠模式 纽扣 微电子机械系统 加速度传感器 实时分析 mems 智能手机
2014年第02期
《石油工业计算机应用》
新型薄膜热电变换器的误差分析及其设计制作
第39-44页
关键词: 薄膜热电变换器 谐振器 微电子机械系统 交流电压标准 交流电流标准
2017年第03期
《赣南师范大学学报》
我国专家首次入选IEEE
第6-6页
关键词: ieee 微电子机械系统 专家 技术委员会 信息技术 工程师 研究所 微系统
2007年第07期
《软件和集成电路》
微电子系统光开关
第6-6页
关键词: 微电子机械系统 光开关
2009年第12期
《科技创新导报》
IMT宣布提供8英寸晶圆MEMS加工服务
第9-10页
关键词: mems 工艺加工 晶圆 服务 微电子机械系统 资源组合 经济指标 器件
2019年第07期
《智能制造》
RF MEMS国内外现状及发展趋势
第1-10页
关键词: rfmems 微电子机械系统 射频 研究现状 发展趋势
2017年第05期
《遥测遥控》
新型结构硅基微通道中层流换热的实验研究
第157-163页
关键词: 微电子机械系统 热边界层中断技术 强化换热
2005年第02期
《中国科学院大学学报》
军用硅微加速度计的信号检测与控制电路
第8-10页
关键词: 传感器 加速度计 混合电路 微电子机械系统
2004年第02期
《电子元器件应用》
军用
微电子机械系统
的应用及封装
第21-26页
关键词: 微电子 微机械 微电子机械系统 封装 应用
2005年第06期
《电子元器件应用》
IEEE和SEMI签署了一项关于共同制定纳米技术和
微电子机械系统
标准的协议
第37-38页
关键词: 协议双方 微电子机械系统 纳米技术 ieee semi 合作项目 信息交流 联合会议
2004年第06期
《半导体信息》
MEMS将成为汽车传感器的主流技术
第36-37页
关键词: 汽车传感器 mems 微电子机械系统 半导体集成电路 力学量 化学量 技术发展 加速度传感器 压阻式传感器 加速度计
2005年第05期
《半导体信息》
基于MEMS技术的射频移相器
第73-80页
关键词: mems技术 射频移相器 微电子机械系统 开关 相控阵天线 插入损耗 rf性能
2004年第01期
《微细加工技术》
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