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期刊收录
出版地区
全光网的发展趋势及其挑战第13-16页
关键词: 全光网  可配置光分插复用器  波长阻塞  波长选择性交叉  微电子机械系统  
微电子机械系统第47-49页
关键词: 微电子机械系统  微系统技术  微传感器  
2008年第06期 《科学》
覆盖银纳米线层硅基MEMS过滤芯片第945-950页
关键词: 二氧化硅  颗粒过滤  银纳米线  
2019年第12期 《半导体技术》
基于修正偶应力理论的Timoshenko微梁模型和尺寸效应研究第1321-1334页
关键词: timoshenko微梁  尺寸效应  位移场控方程  级数法  微电子机械系统  
2019年第12期 《应用数学和力学》
高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器第911-917页
关键词: 纤毛  高分辨率  湍流传感器  压电  
2019年第11期 《微纳电子技术》
用于流速测量的微型力传感器的研制第992-998页
关键词: 力传感器  封装  流速传感器  
2019年第12期 《微纳电子技术》
第一项由我国主导制定的微机电系统(MEMS)国际标准IEC 62047-25:2016正式第23-23页
关键词: 微机电系统  mems  微电子机械系统  标准化工作  微机械  微系统  批量生产  加工技术  亚毫米  行业标准制定  
浅析车用传感器技术第284-284页
关键词: 传感器  汽车工业  电子技术  微电子机械系统  信息  
2013年第01期 《社会科学动态》
睡眠状况智能纽扣第54-54页
关键词: 智能设备  睡眠模式  纽扣  微电子机械系统  加速度传感器  实时分析  mems  智能手机  
新型薄膜热电变换器的误差分析及其设计制作第39-44页
关键词: 薄膜热电变换器  谐振器  微电子机械系统  交流电压标准  交流电流标准  
我国专家首次入选IEEE第6-6页
关键词: ieee  微电子机械系统  专家  技术委员会  信息技术  工程师  研究所  微系统  
2007年第07期 《软件和集成电路》
微电子系统光开关第6-6页
关键词: 微电子机械系统  光开关  
2009年第12期 《科技创新导报》
IMT宣布提供8英寸晶圆MEMS加工服务第9-10页
关键词: mems  工艺加工  晶圆  服务  微电子机械系统  资源组合  经济指标  器件  
2019年第07期 《智能制造》
RF MEMS国内外现状及发展趋势第1-10页
关键词: rfmems  微电子机械系统  射频  研究现状  发展趋势  
2017年第05期 《遥测遥控》
新型结构硅基微通道中层流换热的实验研究第157-163页
关键词: 微电子机械系统  热边界层中断技术  强化换热  
军用硅微加速度计的信号检测与控制电路第8-10页
关键词: 传感器  加速度计  混合电路  微电子机械系统  
2004年第02期 《电子元器件应用》
军用微电子机械系统的应用及封装第21-26页
关键词: 微电子  微机械  微电子机械系统  封装  应用  
2005年第06期 《电子元器件应用》
IEEE和SEMI签署了一项关于共同制定纳米技术和微电子机械系统标准的协议第37-38页
关键词: 协议双方  微电子机械系统  纳米技术  ieee  semi  合作项目  信息交流  联合会议  
2004年第06期 《半导体信息》
MEMS将成为汽车传感器的主流技术第36-37页
关键词: 汽车传感器  mems  微电子机械系统  半导体集成电路  力学量  化学量  技术发展  加速度传感器  压阻式传感器  加速度计  
2005年第05期 《半导体信息》
基于MEMS技术的射频移相器第73-80页
关键词: mems技术  射频移相器  微电子机械系统  开关  相控阵天线  插入损耗  rf性能  
2004年第01期 《微细加工技术》