射频磁控溅射论文

氢稀释比对磁控溅射低温(100 ℃)沉积氢化微晶硅薄膜微结构特性的影响第2661-2667页

关键词: 微晶硅薄膜射频磁控溅射氢稀释比例低温微结构

2019年第10期《中南大学学报·社会科学版》

基于射频磁控溅射技术高容量硅负极薄膜材料可控制备研究第55-59页

关键词: 锂离子电池负极材料硅射频磁控溅射溅射功率

2020年第01期《鲁东大学学报·自然科学版》

ZnO/GGG准2-2型单端口SAW谐振器初探第650-653页

关键词: zno薄膜射频磁控溅射声表面波频率相速机电耦合系数

2019年第05期《压电与声光》

射频溅射功率对非晶Zn-Sn-O薄膜性能的影响第661-664页

关键词: zto薄膜射频磁控溅射溅射功率电学性能光学性能

2019年第05期《半导体光电》

磁控溅射法制备LiTaO3薄膜及其结晶性能研究第806-809页

关键词: 钽酸锂铁电薄膜射频磁控溅射结晶性能近化学计量比

2019年第06期《半导体光电》

N/Al共掺ZnO透明导电薄膜的制备及光电性能研究第830-832页

关键词: zno薄膜射频磁控溅射退火处理溅射功率光电性能

2019年第06期《半导体光电》

射频磁控溅射不锈钢衬底AlN薄膜的制备与特性研究第2201-2206页

关键词: aln薄膜射频磁控溅射 xrd 荧光光谱拉曼光谱

2019年第12期《人工晶体学报》

氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性第984-991页

关键词: 谐振频率射频磁控溅射集成电路

2019年第12期《微纳电子技术》

扩镓硅基GaN晶体膜质量的电镜分析第75-79页

关键词: ga2o3薄膜 gan晶体膜射频磁控溅射扩镓时间氮化时间

2004年第02期《分析测试技术与仪器》

退火温度对N掺杂ZnO薄膜结构和电学性能的影响第66-67页

关键词: zno薄膜射频磁控溅射退火温度电学性能退火处理

2017年第04期《中国高新科技》

负载纳米TiO2的纯棉抗菌织物第474-477页

关键词: 射频磁控溅射二氧化钛棉织物抗菌

2007年第04期《服装学报》

溅射功率对RF磁控溅射HfO_2薄膜介电特性的影响第21-21页

关键词: 射频磁控溅射介电特性介电常数

2007年第26期《科技创新导报》

光纤ZnO薄膜的制备及光催化性能研究第33-36页

关键词: 石英玻璃制备光催化性能镀膜工艺 zno薄膜苯酚 c轴取向光致发光蓝移射频磁控溅射

2005年第03期《环境工程学报》

锐钛矿纳米晶粒TiO2薄膜的制备及分析第103-106页

关键词: 纳米晶粒tio2薄膜射频磁控溅射晶化锐钛矿相金红石相

2005年第01期《黑龙江大学自然科学学报》

Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7栅绝缘层的SiO2修饰对ZnO-TFTs性能的影响第1344-1351页

关键词: sio2薄膜氧化锌薄膜晶体管修饰层射频磁控溅射

2019年第06期《电子学报》

不同衬底生长ZnO薄膜的结构与发光特性研究第10-13页

关键词: zno薄膜射频磁控溅射蓝宝石硅光致发光结构表征

2004年第01期《淮北师范大学学报·自然科学版》

Si基ZnO／Ga2O3氨化反应制备GaN薄膜第37-41页

关键词: ga2o3薄膜 zno缓冲层氨化自组装射频磁控溅射

2004年第02期《微细加工技术》

硅基镓浓度对GaN晶体膜质量的影响第33-38页

关键词: ga2o3薄膜 gan晶体膜射频磁控溅射镓浓度

2004年第03期《微细加工技术》

ITO透明导电薄膜的射频磁控溅射制备第226-231页

关键词: 射频磁控溅射快速热退火 ito薄膜光电特性

2018年第03期《西安工业大学学报》

射频功率对Cu／Ag导电薄膜结构和性能的影响第693-696页

关键词: 射频磁控溅射溅射功率欧姆接触

2005年第06期《西北工业大学学报》