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压电陶瓷圆片单面研磨抛光工艺第585-588页
关键词: 单抛晶片  双面研磨  双面抛光  化学腐蚀  水溶粘接剂  
2018年第04期 《压电与声光》
双面研磨蓝宝石衬底面形及表面粗糙度变化过程的实验研究第8-12页
关键词: 蓝宝石  双面研磨  面形精度  粗糙度  去除量  
2017年第09期 《现代制造工程》
蓝宝石衬底铜抛实验研究第57-58页
关键词: 蓝宝石衬底  加工过程  表面质量  实验  铜  双面研磨  工艺方法  表面粗糙度  
2017年第07期 《内江科技》
蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤分布研究第2568-2572页
关键词: 蓝宝石衬底  双面研磨  亚表面损伤  划痕  化学腐蚀  
2014年第19期 《中国机械工程》
陶瓷芯片双面研磨的实现第55-57页
关键词: 陶瓷芯片  双面研磨  工艺参数  
2007年第05期 《机械制造》
碳化硅衬底超精密加工技术第26-29页
关键词: 多线切割  双面研磨  elid磨削  化学机械抛光  超光滑表面  
2012年第07期 《现代制造工程》
蓝宝石晶体的双面研磨加工第2493-2498页
关键词: 蓝宝石晶体  双面研磨  均匀性  亚表层损伤  
2009年第10期 《光学精密工程》
X61 1020B2M-7PT型研磨机 X62 1020B2M-7PT型抛光机第57-58页
关键词: pt型  研磨机  抛光机  硬脆材料  抛光加工  双面研磨  半导体硅片  非金属  
2011年第06期 《电子工业专用设备》
X61 102082M-5PT型研磨机 X62 102082M-5PT型抛光机第59-60页
关键词: pt型  研磨机  抛光机  硬脆材料  抛光加工  双面研磨  半导体硅片  非金属  
2011年第06期 《电子工业专用设备》
X61 102082M-6PT型研磨机 X62 102082M-6PT型抛光机第58-59页
关键词: pt型  研磨机  抛光机  硬脆材料  抛光加工  双面研磨  半导体硅片  非金属  
2011年第06期 《电子工业专用设备》
X61 102082M-7PT型研磨机 X62 102082M-7PT型抛光机第66-67页
关键词: pt型  研磨机  抛光机  硬脆材料  抛光加工  双面研磨  半导体硅片  非金属  
2011年第07期 《电子工业专用设备》
X61 102082M-5PT型研磨机 X62 102082M-5PT型抛光机第68-69页
关键词: pt型  研磨机  抛光机  硬脆材料  抛光加工  双面研磨  半导体硅片  非金属  
2011年第07期 《电子工业专用设备》
X61 102082M-6PT型研磨机 X62 102082M-6PT型抛光机第67-68页
关键词: pt型  研磨机  抛光机  硬脆材料  抛光加工  双面研磨  半导体硅片  非金属  
2011年第07期 《电子工业专用设备》
蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤双片式角度抛光法检测第118-122页
关键词: 角度抛光  蓝宝石  衬底基片  双面研磨  亚表面损伤  裂纹  斜面倾角  
2014年第05期 《现代制造工程》
双面精密研磨用极压研磨油的实用配比第89-91页
关键词: 双面研磨  精密加工  极压研磨油  实用配比  
2014年第05期 《现代制造工程》
钛酸钡陶瓷基片的双面研抛加工研究第11-16页
关键词: 钛酸钡陶瓷  双面研磨  抛光  去除机理  表面粗糙度  表面形貌  
2015年第01期 《金刚石与磨料磨具工程》
行星式双面研磨轨迹均匀性研究第41-43页
关键词: 蓝宝石  双面研磨  研磨轨迹  轨迹均匀性  统计分析  
2015年第06期 《机械研究与应用》
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