关键词: mems  反溅损伤  深反应离子刻蚀  二氧化硅  

2016年第02期 《集成电路通讯》

关键词: 微机械  加速度计  压阻  深反应离子刻蚀  

2005年第03期 《传感技术学报》

关键词: 环形波动陀螺  谐振结构  

2018年第03期 《微纳电子技术》

关键词: 转接板  异质集成  先进封装  保型性电镀  

2019年第07期 《微纳电子技术》

关键词: 各向异性腐蚀  深反应离子刻蚀  mems  光开关  微机械  静电耦合分析  有限元  

2004年第01期 《功能材料与器件学报》

关键词: hsq  深反应离子刻蚀  硅纳米柱  高宽比  硬x射线  

2017年第07期 《强激光与粒子束》

关键词: 深反应离子刻蚀  刀片机械切割  崩角  开裂  

2016年第09期 《电子与封装》

关键词: 微喷阵列芯片  微阵列  深反应离子刻蚀  计算流体力学模拟  

2006年第04期 《微细加工技术》

关键词: 激光扫描仪  技术  电装  微小光学元件  深反应离子刻蚀  成本  障碍物检测  

2007年第02期 《电子测试》

关键词: 生物相容性材料  表面特性  钛  成骨细胞  成纤维细胞  组织构建  微结构  钛片  深反应离子刻蚀  接触角  表面粗糙度  生物相容性  

2014年第51期 《中国组织工程研究》

关键词: 深反应离子刻蚀  锯齿流道  压电微泵  性能  效率  

2010年第02期 《纳米技术与精密工程》

关键词: 太赫兹器件  微机电系统  liga  深反应离子刻蚀  

2011年第07期 《传感器与微系统》

关键词: mems陀螺  深反应离子刻蚀  非对称结构  局域掩膜效应  模态失配  

2010年第08期 《传感技术学报》

关键词: 电容式加速度计  微机电系统  深反应离子刻蚀  滑膜阻尼  

2008年第02期 《传感技术学报》

关键词: pzt薄膜  光刻胶  深反应离子刻蚀  刻蚀速率  铁电电容  

2011年第03期 《压电与声光》

关键词: 硅通孔技术  深反应离子刻蚀  工艺模拟  

2011年第01期 《中国电子科学研究院学报》

关键词: 折叠波导  微细加工  深反应离子刻蚀  光刻工艺  

2011年第04期 《中国电子科学研究院学报》

关键词: pegasus  刻蚀设备  韩国  安装  sts  深反应离子刻蚀  等离子体处理  技术系统  

2009年第04期 《微纳电子技术》

关键词: 微机械陀螺  体硅微机械加工  电容敏感  深反应离子刻蚀  根部效应  

2009年第18期 《中国机械工程》

关键词: 深反应离子刻蚀  icp  线算法  footing效应  模型  

2008年第05期 《真空科学与技术学报》