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8英寸大直径区熔硅单晶在津投入试生产第67-67页
关键词: 区熔硅单晶  试生产  大直径  半导体公司  产品质量  节能材料  垂直整合  芯片制造  
2012年第04期 《有色设备》
气相掺杂区熔硅单晶及其生产技术第18-19页
关键词: 区熔硅单晶  生产技术  气相掺杂  国家知识产权局  技术创新成果  自主知识产权  生长工艺  发明专利  
2008年第04期 《中国集成电路》
线圈台阶对区熔硅单晶生长影响的数值计算分析第144-147页
关键词: 区熔硅单晶  数值模拟  线圈台阶  
2009年第02期 《中国电子科学研究院学报》
区熔（FZ）硅单晶气相掺杂电阻率的理论计算第456-460页
关键词: 气相掺杂  区熔硅单晶  电阻率  
2013年第03期 《人工晶体学报》
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