关键词: 机械设计制造  印刷  潮流  moems  前沿技术  cims  els  

2005年第08期 《中国印刷》

关键词: 微透镜阵列  moems  硅微加工技术  光刻胶热熔法  icprie  

2019年第10期 《仪表技术与传感器》

关键词: 微电子  微光学元件  moems  微光机电系统  微机械  自对准  光开关  发展  降低成本  展望  

2004年第12期 《中国航天》

关键词: 微光学机电系统  气体探测  美国ion光学公司  美国喷气推进实验室  moems  

2004年第01期 《光学仪器》

关键词: moems  微光机电系统  光学器件  微机械加工技术  性能优势  光学系统  发展  结合应用  国内外  

2004年第10期 《传感器世界》

关键词: 光开关  moems  研制成功  上海光学精密机械研究所  阵列  阻塞  微光电子机械系统  上海交通大学  微纳米技术  光学实验室  中国科学院  计划项目  研究院  

2005年第06期 《传感器世界》

关键词: 光开关  moems  研制成功  上海光学精密机械研究所  阵列  阻塞  微光电子机械系统  上海交通大学  微纳米技术  光学实验室  项目验收  专家组  研究院  

2005年第05期 《传感器世界》

关键词: 微型光机电系统  moems  光学压力传感器  压力传感器  阵列  

2004年第08期 《传感器世界》

关键词: 白光干涉法  动态测量  

2018年第03期 《计测技术》

关键词: 微反射镜  光开关  硅片  moems  湿法腐蚀  阵列  反射镜面  制作  

2005年第03期 《高技术通讯》

关键词: icp刻蚀  键合  电镀  

2019年第05期 《传感技术学报》

关键词: mems  moems  微机械  微光学  

2004年第Z1期 《光学精密工程》

关键词: moems  光开关  插损  凸角补偿  球透镜  

2004年第Z2期 《光学精密工程》

关键词: 光强差分测量  加速度计  

2018年第05期 《电子器件》

关键词: 旋转结构  moems  小电容  变化率  静电  电极  驱动器  平板  现象分析  稳态  

2004年第11期 《微纳电子技术》

关键词: 光通信  垂直梳齿驱动  微镜  自对准技术  

2018年第05期 《微纳电子技术》

关键词: 反射式微光机电系统  moems  微机电系统  微光机电系统  研究现状  

2004年第02期 《光学技术》

关键词: moems  光开关  光纤  

2004年第05期 《微处理机》

关键词: ltcc  wlp  3d  sip  mems  moems  

2004年第05期 《电子工艺技术》

关键词: 柔性传感器  硅岛阵列  

2005年第B03期 《半导体光电》