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基于PZT压电薄膜的压力传感器工艺研究第945-949页
关键词: 敏感材料  pzt压电薄膜  mems压力传感器  叉指电极  
2017年第06期 《压电与声光》
MEMS压力传感器电容读出电路第121-124页
关键词: mems压力传感器  高精度  电容数字转换器  仿真  
2016年第12期 《微电子学与计算机》
MEMS压力传感器的温度漂移分析及补偿电路设计第862-865页
关键词: mems压力传感器  温度漂移  温度补偿  
2006年第S8期 《弹箭与制导学报》
基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统的设计第94-96页
关键词: mems压力传感器  信号调理  校准  温度补偿  
2009年第10期 《仪表技术与传感器》
多铁纳米MEMS压力传感器性能测试系统设计第17-19页
关键词: 多铁性材料  mems压力传感器  性能测试  磁场可控  
2016年第03期 《山西电子技术》
MEMS压力传感器性能测试系统设计第48-50页
关键词: 单片机  mems压力传感器  性能测试  标定  
2016年第03期 《机电技术》
MEMS压力传感器及其应用第58-60页
关键词: mems压力传感器  惠斯顿电桥  硅薄膜应力杯  硅压阻式压力传感器  硅电容式压力传感器  
2009年第06期 《电子产品世界》
机动车MEMS压力传感器电磁兼容测试第34-37页
关键词: mems压力传感器  测试  电磁兼容  
2015年第02期 《上海计量测试》
一种用于胎压监测的MEMS压力传感器设计第1424-1430页
关键词: 胎压监测  mems压力传感器  高线性  接触式  有限元分析  
2015年第10期 《电子测量与仪器学报》
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