关键词: 集成电路工厂  制造装备  研发  高密度等离子体  国家863计划  离子注入机  创新  中芯国际公司  

2006年第05期 《中国高新科技》

关键词: 光学编码器  离子注入机  位置偏差  大规模集成电路  机电一体化  控制系统  

2004年第01期 《微细加工技术》

关键词: 高能离子注入  离子注入机  国际专利  

2019年第04期 《世界电子元器件》

关键词: 离子注入机  质心修正算法  剂量控制器  束斑  

2019年第03期 《微电子学》

关键词: 离子注入机  颗粒减少  气体传导率限制缝  锯齿石墨  颗粒源  

2018年第07期 《自动化博览》

关键词: 离子注入机  注入剂量  均匀性  

2005年第10期 《微纳电子技术》

关键词: 离子注入机  低能  减速  能量污染  

2018年第03期 《电子工业专用设备》

关键词: 离子注入机  翻新  二手  半导体市场  中国内地  半导体生产线  微电子  集成电路  未饱和  吸引力  

2005年第12期 《电子工业专用设备》

关键词: 离子注入机  离子能量  射频  

2018年第03期 《电子工艺技术》

关键词: 离子注入机  离子源  等离子体  灯丝  阳极  

2005年第06期 《微电子学》

关键词: 电子装备  芯片  离子注入机  自主研发  稳定流  生产线  

2017年第06期 《环境技术》

关键词: 离子注入机  离子源  

2017年第03期 《电子工业专用设备》

关键词: 宽带束  离子注入机  均匀性调节  迭代算法  

2016年第10期 《电子工业专用设备》

关键词: 离子注入机  环评预测  验收  辐射防护  可行性  

2016年第06期 《海峡科学》

关键词: 集成电路工厂  制造装备  研发  高密度等离子体  国家863计划  离子注入机  创新  中芯国际公司  

2006年第05期 《中国高新技术企业》

关键词: 设备产品  销售合同  北京中科  离子注入机  设备技术水平  设备标准  微电子公司  项目验收  中芯国际  批量采购  

2006年第06期 《半导体信息》

关键词: 芯片制造  技术现状  制造技术水平  芯片生产线  中芯国际  世界先进水平  光刻机  中国电子报  专用设备  离子注入机  

2007年第03期 《半导体信息》

关键词: 离子注入机  axcelis  nm  器件制造  

2006年第04期 《半导体信息》

关键词: 加速器  离子注入机  电子显微镜  联机  原位  

2007年第09期 《核技术》

关键词: 集成电路制造  制造装备  研发  高密度等离子体  国家863计划  离子注入机  中芯国际公司  北京市  

2006年第06期 《光学仪器》