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含高氟废水处理方法的研究第94-94页
关键词: 废水处理方法  高氟  集成电路工厂  电子工业  彩色显像管  含氟矿物  金属冶炼  排放总量  
2008年第08期 《中国高新科技》
最新发现与创新：我国集成电路核心装备研发取得重大突破第64-64页
关键词: 集成电路工厂  制造装备  研发  高密度等离子体  国家863计划  离子注入机  创新  中芯国际公司  
2006年第05期 《中国高新科技》
火灾报警装置及空气采样探测系统在集成电路工厂洁净厂房中的运用第41-45页
关键词: 火灾报警装置  空气采样探测系统  消防联动控制系统  集成电路工厂  洁净厂房  
2004年第01期 《电气工程应用》
集成电路厂房冷热源节能技术分析比较第51-52页
关键词: 热回收  节能  集成电路工厂  
2019年第12期 《工程建设与设计》
最新发现与创新：我国集成电路核心装备研发取得重大突破第64-64页
关键词: 集成电路工厂  制造装备  研发  高密度等离子体  国家863计划  离子注入机  创新  中芯国际公司  
2006年第05期 《中国高新技术企业》
含高氟废水处理方法的研究第94-94页
关键词: 废水处理方法  高氟  集成电路工厂  电子工业  彩色显像管  含氟矿物  金属冶炼  排放总量  
2008年第08期 《中国高新技术企业》
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