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InP基RTD/HEMT集成的几个关键工艺研究第606-610页
关键词: 共振遂穿二极管  高电子迁移率晶体管  空气桥互连  
利用空气桥技术实现InP基共振遂穿二极管器件第516-518页
关键词: 共振遂穿二极管  电子束光刻  空气桥  
InP基共振遂穿二极管研究第1-3页
关键词: 共振遂穿二极管  空气桥  matlab  电子束光刻  分子束外延  
2008年第S1期 《半导体技术》