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BM peeling的改善报告第141-142页
关键词: bm  peeling  光阻材料  基板  附着力  预烘烤  曝光  显影  
2018年第01期 《名城绘》
用Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体制备二维光子晶体第30-32页
关键词: 光子晶体  蚀刻技术  湿蚀刻  干蚀刻  光阻材料  
2004年第06期 《喀什大学学报》
我自主黑色光阻材料攻克关键核心技术第152-152页
关键词: 光阻材料  黑色  技术  生产工艺  产学研合作  电子科技  市场垄断  国外企业  
2017年第08期
台大研制出新型电子束光阻材料第51-51页
关键词: 光阻材料  电子束  光致发光  科研人员  台湾大学  纳米结构  高分子  
2010年第03期 《功能材料信息》
台湾研制出新颖电子束光阻材料第632-632页
关键词: 电子束光刻  光阻材料  聚甲基丙烯酸甲酯  台湾地区  制作技术  纳米级  解析结构  高分子  
2010年第03期 《硅酸盐通报》
在光阻材料中过滤器吸附机制的作用第22-27页
关键词: 光阻材料  过滤器  吸附试验  尼龙滤膜耐受性  
2012年第11期 《电子工业专用设备》
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